Für Beschichtungs-, Ätz-, und diversen Dünnschichtanlagen in der Halbleiterindustrie, der Sensor-, Display- und Solarfertigung sowie der chemischen Industrie und der Forschung und Entwicklung bieten wir verschiedene Komponenten und Services der Gas- und Reinstgastechnik an.
Produkte
der Marken AERA und SAM des Herstellers Kuwana Metals
- Verdampfersysteme für die Produktion
- Planung von Gassteuersystemen z.Bsp. für Dünnschichtabscheidungen im Vakuum
Spezifikationen/Datenblätter MFC
MFC AERA
MFC SAM
Verdampfersysteme
| MODEL | AS103-A | AS103-B | AS92F |
|---|---|---|---|
| Precursoren | TEOS (400sccm max.) 3DMAS (500sccm max.) HCD (500sccm max.) TICL4 (500sccm max.) TMA Al(CH3)3 | BTBAS (400sccm max) | TEOS (1.6SLM max) SiCl4 (1.0 SLM max) |
weitere Informationen zu unseren Gasfluß-Produkten
https://www.fineflowservice.com
DE 
EN