Gas-, Mess- & Regeltechnik

Für Beschichtungs-, Ätz-, und diversen Dünnschichtanlagen in der Halbleiterindustrie, der Sensor-, Display- und Solarfertigung sowie der chemischen Industrie und der Forschung und Entwicklung bieten wir verschiedene Komponenten und Services der Gas- und Reinstgastechnik an.

Produkte

der Fa. Hitachi/AERA (andere Typen auf Anfrage)

Spezifikationen/Datenblätter MFC

MFC Hitachi- AERA
MFC Hitachi- SAM

Verdampfersysteme

MODELAS103-AAS103-BAS92F
PrecursorenTEOS (400sccm max.) 3DMAS (500sccm max.) HCD (500sccm max.) TICL4 (500sccm max.) TMA Al(CH3)3BTBAS  (400sccm max)TEOS (1.6SLM max)
Systeme sind auf Anfrage Verfügbar.

Verdampfersystem AS103

Verdampfersystem AS92F

weitere Informationen zu Hitachi Gasfluß-Produkten

https://www.hitachi-metals.co.jp/e/products/infr/ie/p05_08.html

https://www.hitachimetals.com/materials-products/mfc-flow-products.php

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