Für Beschichtungs-, Ätz-, und diversen Dünnschichtanlagen in der Halbleiterindustrie, der Sensor-, Display- und Solarfertigung sowie der chemischen Industrie und der Forschung und Entwicklung bieten wir verschiedene Komponenten und Services der Gas- und Reinstgastechnik an.
Produkte
der Fa. Proterial und Marken Hitachi/AERA (andere Typen auf Anfrage)
- Verdampfersysteme für die Produktion
- Planung von Gassteuersystemen z.Bsp. für Dünnschichtabscheidungen im Vakuum
Spezifikationen/Datenblätter MFC
MFC Hitachi- AERA
MFC Hitachi- SAM
Verdampfersysteme
| MODEL | AS103-A | AS103-B | AS92F |
|---|---|---|---|
| Precursoren | TEOS (400sccm max.) 3DMAS (500sccm max.) HCD (500sccm max.) TICL4 (500sccm max.) TMA Al(CH3)3 | BTBAS (400sccm max) | TEOS (1.6SLM max) |
weitere Informationen zu Hitachi Gasfluß-Produkten
https://www.proterial.com/e/products/infr/ie/p05_08.html
https://www.us.proterial.com/materials-products/mfc-flow-products.php
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