Sonderanlagenbau & Lohnbeschichtung

Plasma- und Anlagenkomponenten – Produkte

• CVD/ PECVD- Anlagen, Komponenten und Upgrades
• Plasmaätz- Anlagen, Komponenten und Upgrades
• Elektrodensysteme für die PECVD/ ALD/ALE, Plasmaätzen
• Technologieentwicklung
• Planung von Gassteuersystemen/ Verdampfersystemen

Bilder

Auftrags- und Lohnbeschichtung

Auf Anfrage können wir Muster – oder Lohnbeschichtungen nach Ihrem Wunsch mit vorhandenen PECVD- und Plasmaanlagen ausführen. Für Schichtentwicklungen sehen wir mit unserem erfahrenen Personal Ihren Anfragen offen entgegen. Unser Labor ist für die Verwendung von gefährlichen Gasen ausgerüstet.

Technologien

• Amorphe Siliziumschichten bis 50µm
• Amorphe Siliziumschichten, solargrade
• Amorphe Siliziumschichten, Bor und Phosphor dotiert
• Amorphes Siliziumkarbid
• Siliziumverbindungen wie  SixNy, SiOx, SiOCH, SiOxNy
• Abscheidung von hydrophilen und hydrophoben Polymerschichten
• Organische kohlenstoffhaltige Schichten
• Diverse physikalische und plasmachemische Ätztechnologien stehen ebenfalls zur Verfügung
• Weitere Technologien auf Anfrage.